概要 MT-30A系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量测量及控制。 可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。 产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高精度，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。 特点 o 模拟式热质式流量计/流量控制器： - 低单价 - 环境温度补正 - 可应用的流率范围广： - 0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM - 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM o 高精度 ±1%(≤15SLM) ±2%(＞15SLM.) o 可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能 o 国际兼容 应用 o 工业设施的气体供应监测/控制。 o 气体分析设备。 o 固定气体流量控制。 o 气体混合或分离设备 标准 气体质量流量用氮气(N2)标定。 标准状态规定为： 标准温度………………0℃（273.15K） 标准压强………………101325Pa 流量范围是以mL/min，L/min 为单位 例： 5mL/min 表示为005 500mL/min表示为500 50 L/min(nor) 表示为50L
规格 (热式)
功能
流量计/控制器
基本型号
MT-30A
满量程流量范围(N2)
SCCM
0～5，10，20，30，50，100，200，500
SLM
0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S)
±1(≤15SLM)
±2(＞15SLM.)
控制阀动作型式
常闭式
线性(％F.S.)
±0.5～1(≤15SLM)
±2％(＞15SLM.)
重复精度(％F.S.)
±0.2
响应时间(sec)
≤1
流量输出信号
0-+5.00V
流量设定信号
电器接头
DB15 pin(接头)
工作环境温度
(℃)
5～45
工作压差
(MPa)
0.1～0.5
漏率
SCCSHe
1×10-9
******耐压
3MPa
介质接触材质
304，316，316L
密封材料
氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯
接头
VCR " 1/4、1/2
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接头和尺寸
Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm
电源要求
+15V,50mA;-15V,200mA
重量
0.75KG