实现高灵敏度大面积XPS分析
*大300W功率的X射线源,无阴影的XPS分析
**的锥形块体式阳极靶,抗污染能力极强
实现各真空室真空度实时显示,操控真空阀门开关,实验条件设定和全自动无人值守分析等强大功能