据分析模式。
下面介绍一下牛津仪器X-Strata920膜厚仪的一些工作特点：
拥有开槽式的大样品仓，测量元素钛Ti22-铀U92，测量镀层多达五层，同时分析15种元素。并且自动修正X射线重叠谱线。测量精度高、稳定性好，测量结果可达至uin。测量过程快速无损，10秒内可以得了测量结果。可分析固体、溶液，定性、半定量和定量分析，材料鉴别和分类检测，材料和合金元素分析，元素光谱定性分析。并且拥有NIST认证的标准片。
牛津仪器X-Strata920膜厚仪的系统也是比较先进的：简单用户界面只向日常操作员设定有限的授权，主管人员可进行系统维护，系统自动生成操作员的使用记录，自动锁定功能防止未授权的操作，Z轴保护传感器，防射线光闸，样品室门开闭传感器，X射线锁，X射线警示灯，紧急停止按钮等。