QMG 700的一些变体将于2018年1月31日停止使用
质量范围1024 amu和2048 amu
质量范围16 amu和340 amu
离子光学系统
QMG 725系统
超越检测极限且达到优异的稳定性和细微的分辨率
半导体制造技术的快速发展有赖于灵敏而可靠的气体分析解决方案。在工厂或实验室中，选择 INFICON QMG 700 分析质谱仪以突破检测极限，推动工艺**，提升工艺水平。QMG 700 的模块化设计带来****的性能和适应性。利用 QMG 700 增强竞争优势，获得出众的测量能力。
根据具体的应用要求，选择配制合适的离子源、滤质器和射频电源，可量身定制QMG 700。QMG 700有超过九个数量级的动态测量量程，达到ppb 检测量级，这种优势使其成为超高真空测量的理想选择。QMG 700 对整个质量范围都有很高的分辨率，对较低的质量可获得更高的分辨率。对于某些*具挑战性的测量应用，如同位素分析，氦和氘分离等，QMG 700是极好的选择。QMG 700 出色的长期稳定性可保证关键性的测量，有效控制您的工艺。
INFICON 在分析质谱仪领域五十多年的历史和遥遥**的技术，确保QMG 700 成为进**体分析的正确选择。依赖 INFICON QMG 700 以及我们享誉世界的应用专长，您可获得始终如一的高精度测量数据。
质量范围选择为 1-2048 amu
超过九个数量级的动态量程
极快的测量速度：0.125 ms/amu
MDPP < 10E-16 mbar
涵盖整个质量范围的高分辨率：质量 1、2 和 3 可在 ppb 范围内清晰地分离
超过 10 个不同的离子源和离子光学组合
离散或连续倍增电极电子倍增器选件
用于正负离子以及中性粒子分析的离子计数前置放大器
IO 选项：8 个模拟输入/输出和 32 个数字输入/输出
软件功能强大，灵活实用且具友好的用户界面
Gas discharge mass spectrometry
End point detection
Deposition material monitoring
Secondary ion mass spectrometry
(1) QMA 400 的可检测质量范围为：1-512 amu、1-1024 amu、1-2048 amu。
QMA 400 的规格基于 512 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置
(2) QMA 410 的可检测质量范围： 1-16 amu、1-128 amu、1-340 amu。
QMA 410 的规格基于 128 amu 质量范围、聚焦离子源系统配置