XENOS的所有轴均采用线性驱动。其优点：高速、加速极快、定位精度高、驱动无剪切力影响结合超高分辨率光栅尺技术，XENOS的线性驱动可获得高度稳定性及低于结合超高分辨率光栅尺技术，XENOS的线性驱动可获得高度稳定性及低于100纳米的极高定位精度。例如，测针偏移量越恒定，即可获得更佳的测量精度。于测量曲面时更显见另一优势：测针的移动路径与预定值越吻合，即可实现越出色的精准性。
虚拟中央驱动
于测量曲面时更显见另一优势：测针的移动路径与预定值越吻合，即可实现越出色的准确性。虚拟中央驱动XENOS于Y轴向配备双线性驱动系统，得益于蔡司*新的中央驱动技术可实现优异的同步控制。该技术可据X轴位置上乘分布驱动力作为*新控制系统及算法之上乘结合，这是在整个测量范围内获得优异的测量精度及运动稳定性的关键因素。
碳化硅陶瓷
XENOS于Y轴向配备双线性驱动系统，得益于蔡司*新的中央驱动技术可实现优异的同步控制。该技术可据X轴位置上乘分布驱动力作为*新控制系统及算法之上乘结合，这是在整个测量范围内获得优异的测量精度及运动稳定性的关键因素。碳化硅陶瓷XENOS在与精度密切相关的机器部件上采用碳化硅陶瓷材料。迄今为止，该材料从未在类似产品或精度的测量机器上得到使用与常规陶瓷相比，碳化硅陶瓷的热膨胀性降低约50%，而刚性则可*大提升30%，同时减重20%。