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第1年
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精品KAKUHUNTER写真化学红外透射膜厚监测仪
日期:2025-02-23 14:32
浏览次数:39
摘要:精品KAKUHUNTER写真化学红外透射膜厚监测仪
精品KAKUHUNTER写真化学红外透射膜厚监测仪
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精品KAKUHUNTER写真化学红外透射膜厚监测仪
特征
红外透射膜厚监测仪可测量电池隔膜等半透明片材、黑色抗蚀剂等低反射膜、硅片等的厚度。这是一款红外吸收式薄膜测厚仪,可用于从实验室水平到生产过程中100%在线检测的所有情况。
这是一种红外薄膜测厚仪,采用由紧凑型镜面探头组成的透射光学系统,可通过 100 多个波长的光谱同时**测量薄膜厚度、密度和成分等多个参数。
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1
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测量半透明片、低反射膜、硅等
的厚度,这是使用光学干涉测量法难以做到的。 -
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2
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小型光纤探头
通过使用小型30mm反射探头,
可以安装在设备或生产线内的狭小空间内。另外,探头
与主体仅通过光纤
连接,因此具有优异的耐环境性。 -
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3
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高速测量100多个点同时采样
950至1650 nm的近红外波长
可以实现短至 1 毫秒的高速采样。
可在生产线上进行实时检测和测量。
由于不会旋转干涉滤光片等,因此具有出色的耐用性和可靠性。 -
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4
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厚度测量重复性0.1%以下(3σ)
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5
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两种可选的测量算法
测量算法 校准样品 测量目标 兰伯特-比尔法 1 种 仅厚度 *小二乘回归法 2种以上 多重(厚度、密度、特定成分的混合量等)
测量示例(锂离子电池隔膜)
可以同时测量厚度和涂层重量。
测量示例(硅基板上的黑色抗蚀剂膜厚)
现在可以测量硅基板上黑色抗蚀剂的厚度,这对于使用反射光谱的光学干涉膜厚计来说是很难做到的。
作品