今日推荐KAKUHUNTER写真化学成像膜厚计

今日推荐KAKUHUNTER写真化学成像膜厚计

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这是一种膜厚计，可以利用显微图像光谱法将透明多层膜的膜厚分布可视化。

由于使用光学干涉法计算膜厚，因此可以

以0.1nm以下的分辨率以3D方式显示膜厚分布。

测量显微镜视野内任何区域的

膜厚和膜质量分布，并以 3D 形式显示分布

分辨率相当于可见光波长干膜测厚仪

波长范围从 450nm 到 750nm 可以以 1nm 增量

使用与反射膜厚度监视器相同的计算引擎进行并行计算

应用实例

① 数百层重复层压薄膜、沟槽等复合结构。

② 使用 EMA（有效介质近似）法估算亚微米图案的密度

③ 局部结晶度评价

您可以根据工作和应用选择物镜。

• 我想轻松测量透明多层薄膜每一层的厚度。

• 我想自动测量多个点的薄膜厚度。

• 我想以10μm以下的高分辨率研究膜厚分布。

• 我想测量半透明板的厚度。