加热型工艺过程压力计 E29B 上海杰徕臣机电科技有限公司

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产品名称：加热型工艺过程压力计
产品型号：E29B
产品展商：其他品牌
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简单介绍

带9针连接件的Baratron®刻蚀压力计（工作温度45℃和100℃）　　MKS一起公司解决了刻蚀工艺导致的压力计的零位漂移问题。MKS的工程师们采用工业标准型629作为平台，在传感器中加入了一个淀积阻挡器，它可以防止与工艺相关的化学淀积在传感薄膜上。E27B刻蚀压力计的工作温度控制在45℃时，精度为读数的±0.12％；工作温度控制在100℃时，精度为读数的±0.25％。它还采用

产品描述

量程（Torr）(XXX)	采购序列号
0.02	U2
0.05	U5T
0.1	.1T
0.25	RET
1	01T
2	02T
10	11T
20	21T
100	12T

装配件（Y）

1/2”管	A
8VCR?	B
Mini－CF	C
NW 16 KF	D

精度（Z）

读数的±0.12％（仅是45℃，1、2、10、20、100 Torr的标准）	C
读数的±0.15（仅是45℃，0.05和0.1 Torr的标准）	D
读数的±0.25℅（仅对45℃,0.02 Torr的标准；100℃，1- 1000 Torr）	E
读数的±0.5℅（仅对100℃，0.5和0.1Torr的标准）	F

工作温度（T）

45℃	J
100℃	L

选配件（O）

标准配置/垂直校准	1
选配温度显示/垂直校准	2
外接零输入/垂直校准（0.02 Torr 45℃和0.05 Torr 100℃无法选配）	3
加热器状态/外接零输入/垂直校准（0.02 Torr 45℃和0.05 Torr 100℃无法选配）	4
标准配置/水平校准	5
选配加热器状态显示器/水平校准	6
外接零输入/水平校准（0.02 Torr 45℃和0.05 Torr 100℃无法选配）	7
加热器状态显示/外接零输入/水平校准（0.02 Torr 45℃和0.05 Torr 100℃无法选配）	8

连接器（C）

15针″D″型螺纹锁紧连接器	B
15针″D″型滑动锁紧连接器

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