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上海杰徕臣机电科技有限公司
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产品简单介绍
加热型工艺过程压力计
D24B
带跳闸点控制继电器的Baratron®双量程压力计 (工作温度45℃) MKS Baratron®D24B型双量程压力计是MKS通用压力计*新系列中一种专用的**电容压力计。它的特点是增加了可提供两种不同测量输出的能力,为多步工艺过程提供**、可靠以及可重复的压力测量。D24B的工作温度为45℃。有 10、100和1000Torr三种不同的量程,能在满量程的1/2 、1/5 、1
加热型工艺过程压力计
D25B
Baratron®双量程压力计 (工作温度100℃,带跳闸点控制继电器) MKS Baratron®D25B型双量程压力计是MKS通用压力计*新系列中一种专用的**电容压力计。它的特点是增加了提供两种不同测量输出的能力,为多步工艺过程提供**、可靠以及可重复的压力测量。D25B的工作温度为100℃。有10、100和1000 Torr三个不同的量程。它在满量程的1/2 、1/5 、
加热型工艺过程压力计
D27B
Baratron®双量程压力计 (工作温度45℃) MKS Baratron®D27B型双量程压力计是MKS通用压力计*新系列中一种专用的**电容压力计。它的特点是增加了提供两种不同测量输出的能力,为多步工艺过程提供**、可靠以及可重复的压力测量。D27B的工作温度为45℃。有10、 100和1000 Torr三个不同的量程。它在满量程的1/2、1/5、1/10处能给出一个由用户
加热型工艺过程压力计
D28B
Baratron®系列双量程压力计 (工作温度100℃) MKS Baratron®D28B型双量程压力计是MKS通用压力计*新系列中一种专用的**电容压力计。它的特点是增加了提供两种不同测量输出的能力,为多步工艺过程提供**、可靠以及可重复的压力测量。D28B的工作温度为100℃。有1、10、100和1000 Torr三个不同的量程。它在满量程的1/2、1/5、1/10处能给出
加热型工艺过程压力计
E27B
Baratron®刻蚀压力计 (工作温度45℃) MKS仪器公司解决了刻蚀工艺导致的压力计的零位漂移问题。MKS的工程师们采用工业标准型627B作为平台,在传感器中加入了一个淀积到传感器薄膜上。E27B刻蚀压力计的工作温度位45℃,精度为读数的±0.12℅,它采用了一个高效率的热封装,可减少一半的升温时间,为传感器和电子线路提供了一个严密控制的环境,使它们具有极好的长期稳定性和可
加热型工艺过程压力计
E29B
带9针连接件的Baratron®刻蚀压力计 (工作温度45℃和100℃) MKS一起公司解决了刻蚀工艺导致的压力计的零位漂移问题。MKS的工程师们采用工业标准型629作为平台,在传感器中加入了一个淀积阻挡器,它可以防止与工艺相关的化学淀积在传感薄膜上。E27B刻蚀压力计的工作温度控制在45℃时,精度为读数的±0.12%;工作温度控制在100℃时,精度为读数的±0.25%。它还采用
常温型工艺过程压力计
622A
常温**电容压力计(配有接线端子) 622型Baratron®系列电容压力计中是比较经济的一种。这种传感器采用双电压电源 (直流±15∨),量程为1到1000mmHg (Torr) 。622型有个接线端子,其输出信号为直流0到+10∨,常温下工作。
常温型工艺过程压力计
623A
常温**电容压力计 (带跳闸点控制继电器) 623型Baratron®电容压力计有两个可调节的跳闸点控制继电器来控制系统的连接。623型工作在常温,量程范围由10到1000mmHg。输入电源为直流±15V,输出信号为直流0到+10V。 623型满足SEMI S2-93指导准则,并已提交给一个独立的**实验室进行复核S2-93准则的测试。
常温型工艺过程压力计
626A
**电容压力计 (配有15针“D”型连接件) 626型Baratron®工艺过程电容压力机系列中是比较经济的一种。这个传感器采用双电压电源(直流±15V)进行供电,全量程为0.1到1000mmHg(Torr)。626型采用一个15针“D”型连接件,输出信号为直流+10V,工作与常温。
常温型工艺过程压力计
722A
Baeatron®**电容压力计(小尺寸) 如今的工艺过程需要小尺寸,低成本的压力测量及来进行**、可重复的和可靠的测量。 722型灵活的设计(直径1.5”);是它成为设备升级以及新设备设计中的一个理想选择。它的输入电源为直流+13V到+32V,或直流+10.8V到+32V:对应的输出信号分别为直流0-10V和0-5V。压力计的测量精度为读数的0.5﹪,常温下工作。
通用型及生产工艺过程压力计
220DA
Baratron®**电容压力计 NEMA 1外壳 为了能在所要求的苛刻环境下使用,220型Baratron差分电容压力计的工作温度为45℃。220型包含了所有的信号调节单元和电源,并且封装在一个坚固的、符合NEMA1标准的外壳中。压力计的量程从1到25000mmHG/Torr(500 psia),标称精度为读数的0.15%。
通用型及生产工艺过程压力计
220DD
Baratron®**电容压力计 NEMA 1外壳 为了能在所要求的苛刻环境下使用,220型Baratron差分电容压力计的工作温度为45℃。220型包含了所有的信号调节单元和电源,并且封装在一个坚固的、符合NEMA1标准的外壳中。压力计的量程从1到25000mmHG/Torr(500 psia),标称精度为读数的0.15%。
通用型及生产工艺过程压力计
225A
Baratron®差分电容压力计 (输入电源为直流+24V) 225型Baratron通用型差分传感器为在高真空和洁净室中对低的气流压力差的测量提供了一个可靠、**和经济的手段。输入电源为直流+24V、输出为直流0-5V、线性。
通用型及生产工艺过程压力计
230E
**压力传感器 (双引线,4-20mA输出) 230E型传感器需要+28V的直流电源,能提供4-20mA的输出。它具有的较宽的工作环境温度范围(0-100℃),使它在适应工作环境方面具有更大的灵活性。
通用型及生产工艺过程压力计
430C
Baratron®防爆型**压力传感器 (双引线,4-20mA输出) 430型Baratron**压力传感器示是为工业真空使用而设计的,它由一个可变电容薄膜传感器和相应的电路构成。这个通过FM验证的传感器封装在一个坚固的、符合NEMA4标准的外壳中,它既防爆又能在全天候环境下工作。
压力计
120AA
Baratron®高精度**电容压力计 (集成信号调节器) Baratron 120型**电容压力计是现有精度*高的、独立的**压力计,可用来满足工艺技术不断提高的要求。120型具有更高的精度和更低的温度系数,以及比过去工艺过程传感器大十倍的量程。120紧凑型**压力计可产生一个直流0-10V线性的、高质量的输出信号,这可以被DVM或者数据采集系统直接读取。120型的标准功能包括
压力计
120AD
Baratron®差分电容压力计 (高精度) Baratron 120型**电容压力计是现有精度*高的、独立的**压力计,这种采用*新技术的传感器是基于电容的技术来实现高精度和可靠的低的差分压力测量。120紧凑型差分压力计可以由直流24-30V或者15V的电源供电,具有直流0-10V的高精度输出。
压力计
690A
高精度**压力传感器 (工作温度45℃) Baratron 120型**电容压力计是现有精度*高的、独立的**压力计,这种采用*新技术的传感器是基于电容的技术来实现高精度和可靠的低的差分压力测量。120紧凑型差分压力计可以由直流24-30V或者15V的电源供电,具有直流0-10V的高精度输出。
压力计
698A
高精度差分压力传感器 (工作温度45℃) 698型是为在工艺过程或者检测环境中进行高精度压力测量而设计的。698型工作在45℃,通过控制传感器探头的温度,压力计的精度可提高到读数的0.05%。698型需要670型或者270型电源以及信号调节器
压力计
670B
电源/信号调节/显示单元 标准的670型具有可以完全控制仪器所有性能的面板显示器。所有的仪器功能都能通过RS-232或者IEEE-488标准接口进行监控。670型可以手动或自动切换量程,以选择*小的量程范围。670型可使用于所有传感器的满量程使用,并以12中工程单位中的任何一种进行压力显示。传感器的相应时间可以设定为1、40、400ms。此外,它所具有的对数据求平均值的功能,使客户
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