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TESCOM 23 高纯减压阀入口低压,出口低压,高流量
TESCOM提供了广泛的标准和定制设计的稳压器,包括高科技复杂的
项目和简单的工业应用 优点__________________________________________________
1. 流路完全净化
2. *小的杂质生成
3. 使用强制截流密封定位阀盖
4. 无泄漏
5. 高流量Cv1.8
6. SEMI F19,UHP标准
应用__________________________________________________ - 高流量净化
技术规格______________________________________________
稳压器-减压阀
*大入口压力: 150或250 PSI
出口压力: 30, 60, 100 PSI
设计实验压力: 150%
泄漏:内部1x10-9atm cc/sec He
操作温度:
PCTFE阀座: -40~60℃
Teflon.阀座: -40~71℃
流量系数: Cv=1.8
材质
阀体: 316 VAR不锈钢电解抛光
阀座: PCTFE或Teflon.
其余部件: 316不锈钢
内部光洁度处理: 10Ra
内部容积: 18.5 cc
接口
焊接, VCR, H.P.I.C.
重量: 1.5 kg
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