7500系列电感耦合等离子质谱

Agilent 7500cs - **的半导体分析仪

7500cs ICP-MS 装有一套高灵敏度的反应池，专为满足半导体行业对痕量金属元素分析的高性能、高可靠性和高灵敏度要求而设计。7500cs 建立在已极为成功的 Agilent ICP-MS 系统基础之上，其性能成为 ICP-MS 技术发展中新的标准。

安捷伦****的八极杆反应系统 (ORS) 为半导体分析实验室 ICP-MS 的干扰消除开启了新的可能性，同时在无气体模式下保持了与 7500s* 相似的灵敏度。ORS 采用同轴反应池，有效地应对各类半导体样品基体中极难解决的复杂质谱干扰，例如：

• 去除磷酸和硫酸中磷基和硫基对 Ti、Cu 和 Zn 的干扰
• 复杂半导体基体，如光刻胶、VPD 提取物（高硅基体）中痕量元素的低检测限
• 超纯试剂（如过氧化氢、硝酸和去离子水）中痕量元素**的检测限。

* 7500s 可升级为 7500cs

• **的提取透镜可将易电离元素 (EIE) 的背景等效浓度在等离子体功率为 1600W 时，仍可有效地降低至冷等离子体条件下的水平。
• **代 ORS 包括一个八极离子导杆，与四极杆同轴，使离子传输效率更高。
• ORS 使用简单的反应气体（氢气和氦气），以避免产生副反应而带来新的不可预知的干扰。
• 所有测量均直接测定被分析元素的质量数，可获得更可靠的结果。

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