面射型激光半导体测试机

• L-I-V曲线 • ITH : 发光电流 • IOP : 操作电流 • VF : 顺向电压 • 光谱量测与分析 • Kink 检验 • Rollover 检验

致茂58173-V适合用于可见光或红外光通讯用面射型激光半导体测试，依照选择 不同的光侦测器即可符合不同波长的半导体激光测试。搭配积分球的量测，可 同时提供完整半导体激光的测试条件，例如LIV 曲线，不论是单颗面射型激光， 抑或是复杂的矩阵式结构；利用前期光学检测AOI辅助可确认半导体激光的尺寸 大小位置，确保每次的量测皆可准确与探针结合并执行测试；即时的量测数据 (Real-time) 可依照客户的需求选择性的显示于机台上方萤幕，确认样品的优劣与 好坏后，确定是否可直接进行量产测试，当晶圆检测完毕后，后端软体可依照使 用者需求产出对比图形(mapping)，以利下一段分类筛选的应用。

58173-V使用致茂54100系列TEC温控设备进行温度控制，范围可由-40~120℃，完 整的涵盖激光半导体的使用范围，搭配致茂专有的干燥技术，可确保半导体激光 在低温的谅测环境中不会产生水气凝结而影响测试数据。

累积致茂在PXI平台上多年的研发经验，搭配致茂52400系列双通道四象限的电流 电压源卡(SMU)，可提供连续性电流(CW)或脉冲式(Pulse)电流，使用者只需依照 激光功率大小选择适合的档位来进行测试。