技术参数
主要特点
1． 可以一次清洗4,6,8个6L采样罐或42个迷你罐。 2． 可选择加热带（1050C）或6个6L罐的炉箱或21个迷你罐加热器（1400C）。 3． 无油泵大大降低了对系统的污染。 4． 充气/抽空,循环提高了VOC的去除效率. 5． 数字表征系统压力（0-50psia）和真空度（0-2000mtorr）。 6． 清洗过程中自动漏气检测。 7． Windows2000操作平台下的SmartLab控制。全部操作实现自动化. 8． 清洗程序容易定义、贮存及修改。 9． 整体不锈钢经电子刨光,硅烷化钝化处理。 10． 可选注入硅浣化去活试剂。 11． 二级真空系统,无油隔膜泵和分子涡轮泵,抽速快,清洗过程快.真空度可达20 mtorr. 12． 另可匹配Entech的迷你罐及快速连接头（用于低成本的简易操作）。