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世界一些国家公布的洁净室标准年表：

公布时间	各国标准
1961.3	美国空军技术条令TO.00-25-203
1963.7	美国空军技术条令TO.00-25-203**次修订本
1963.12	美国联邦标准FS—209
1964以前	苏联标准(计重法)
1965.8	美国空军技术条令TO.00-25-203**次修订本
1965	苏联标准CH317—65(计数法)
1966.6前	联邦德国标准
1966.8	美国联邦标准FS—209A
1967.8	美国国家航空与航天管理局NASA标准NHB5340.2
1968	民主德国标准
1972	法国标准ASPEC，Communication7202
1973.4	美国联邦标准FS—209B
1973	苏联标准OCT11Ⅱ-170-050.001-73
1975	日本工业标准B9920
1976.5	美国联邦标准FS—209B修订
1976,1977	联邦德国标准VDI2083
1976	英国标准
1976	澳大利亚标准
1984	中国标准《洁净厂房设计规范》GBJ 73-84
1987.10	美国联邦标准FS—209C
1988	日本工业标准JIS B9920洁净室悬浮微粒的测定方法和洁净室洁净度的评价方法（修订案）
1988	日本空气洁净协会标准
1988.6	美国联邦标准FS—209D
1992.11	美国联邦标准FS—209E
1996	俄罗斯标准GOSTR 50766-95
1999.5	国际标准ISO14644-1
2001.11	中国标准GB 50073-2001

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