AGUS提供沉积测试服务作为我们支持的一部分，以提高实验准确性。请随时与凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司联系。
- 多样性 -
· 真空可移动的手套箱可以处理易氧化的样品。
· 前驱体标配两组阀门和气瓶。
· 可选择将前驱体加热至200摄氏度。
· 可选择基片自动旋转支架。
· 可选择粉体沉积配件。
· 可选择经济实惠的废气处理设备。
- 表现 -
· 保证基片表面上的每个均匀原子层针孔自由层沉积。
· 通过阶梯覆盖沉积在不均匀或3D形状的表面。
· 与CVD和PVD相比，可以获得更好的沉积，特别是对于具有更高纵横比和多孔沉积材料。
- 操作界面友好 -
· 触摸屏使用户可以轻松设置配方或沉积过程，并检查每个驱动系统的运动。
· 可进行自动沉积，并在沉积完成后自动完成N2排放。
· 手套箱的真空排气和惰性气体的引入也可自动完成。
- **性 -
· 这是具有各种互锁功能的上等设备。
- 具有轻柔关闭功能的顶部舱口使用户可以轻松地装载和卸载基片。
性能
真空度
到达压力
≤5Pa
成膜性能
膜厚分布
≤± 3% （φ 100mm）
设备构成
设备型号
SAL1000G
成膜方向
下表面
基底尺寸
φ 100mm or 4 inch Max
基底加热器温度
350℃ Max
前驱体数
2
前驱体温度
150℃ Max
净化气体
N2 （气体控制：带流量计针型阀）
手套箱
有机玻璃，真空-氮气吹扫式
真空泵
162L/min 旋片式真空机械泵
重量
本体：50kg，手套箱：35kg，真空泵：27kg
可选配置
基片自动旋转支架
粉体沉积配件
废气处理设备
前驱体加热器- 200℃
安装要求
电源要求
电源
3相、 200V ± 10% 、15A 、50/60Hz
接地
＜100Ω
线缆
5m 附赠
N2吹扫气体
供给压力
0.1 ~.0.2Mpa
接口
1/4 Swagelok
压缩空气
0.6 ~0.8Mpa
φ6mm 接口
真空泵排气口
排气口
KF-25法兰
设备排气口
φ38mm x L28软管适配器
安装尺寸
W1000 x D700 x H900