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产品资料

半导体特气检漏仪（自动吸引式）XP-703D

半导体特气检漏仪（自动吸引式）XP-703D
  • 如果您对该产品感兴趣的话，可以
  • 产品名称：半导体特气检漏仪（自动吸引式）XP-703D
  • 产品型号：XP-703D
  • 产品展商：日本新宇宙
  • 产品文档：无相关文档
简单介绍
半导体特气检漏仪（自动吸引式）XP-703D 特点： *适合于检测半导体特气的微量泄漏。 采用声光报警。
产品描述
半导体特气检漏仪（自动吸引式）XP-703D
型 号

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等）

检测原理

专线型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度
（单位：ppm）

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内

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