mcps8230镀层测厚仪性能优势
1.精密的三维移动平台 2.**的样品观测系统 3.先进的图像识别 4.轻松实现深槽样品的检测 5.四种微孔聚焦准直器，自动切换 6.双重保护措施，实现无缝防撞 7.采用大面积高分辨率探测器，有效降低检出限，提高测试精度
全自动智能控制方式，一键式操作! 开机自动自检、复位； 开盖自动退出样品台，升起Z轴测试平台，方便放样； 关盖推进样品台，下降Z轴测试平台并自动完成对焦； 直接点击全景或局部景图像选取测试点； 点击软件界面测试按钮，自动完成测试并显示结果。
技术指标
分析元素范围：硫（S）～铀（U） 同时检测元素：*多24个元素，多达5层镀层 检出限：可达2ppm，*薄可测试0.005μm 分析含量：一般为2ppm到99.9% 镀层厚度：一般在50μm以内（每种材料有所不同） 重复性：可达0.1% 稳定性：可达0.1% SDD探测器：分辨率低至135eV 先进的微孔准直技术：*小孔径达0.1mm,*小光斑达0.1mm 样品观察：配备全景和局部两个工业高清摄像头 准直器：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm与Ф0.3mm四种准直器组合 仪器尺寸：690（W）x 575（D）x 660（H）mm 样品室尺寸：520（W）x 395（D）x150（H）mm 样品台尺寸：393（W）x 258 （D）mm X/Y/Z平台移动速度：额定速度200mm/s *高速度333.3mm/s X/Y/Z平台重复定位精度：小于0.1um 操作环境湿度：≤90% 操作环境温度：15℃～30℃