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气体管路五项检测，特种气体系统五项测试专用仪器。
气体管路五项测试流程 （一）保压测试（Pressure Test）使用保压仪TP87R，管道测试的压力为设计压力的1.15倍，保压仪使用时间至少30分钟，测量过程中压力保持不变。 （二）氦测漏（He Leak Test）氦检仪，检测不得低于10E-10CC。 （三）粒子含量分析（Particle Analyzer）粒子计数器，被测气体中0.1-0.3微米的颗粒总数≤35且连续测量至少3次全部达标。 （四）氧含量分析（Oxygen Analyzer）氧浓分析仪，氧气的含量应≤100ppbv（按设计的具体要求）。 （五）水含量分析（Moisture Analyzer）水分含量分析仪，气体的流速低于设计的流速的10%且小于3m/s，水分应该≤1PPBV（按设计的具体要求）。