ULTRATEST™ 传感器技术
工业真空和半导体制造中真空泄漏检测的“干式”标准
INFICON UL1000 Fab 氦气检漏仪是工业或半导体环境中经济型氦气真空泄漏检测的公认标准。
通过仪器的干式泵技术，可以消除被测部件或设备被碳氢化合物或颗粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高稳健性和经济性之间提供了*佳的性价比。它提供*先进的 10-12 mbar·l/s 检测极限，具备合理的短抽气时间和响应时间的特点。紧凑的设计提供了高度的机动性，方便进入空间有限的维修区域。可选的背景抑制（iZERO）功能能够在2秒内实现低于现有背景水平状态持续进行泄漏测试。
所有特性都使您能够缩短泄漏测试工作的时间，同时确保可以经济实惠地检测出所有泄漏。
稳定性和敏感度的新疆界，检漏低达10-12毫巴·升/秒
需高泵抽速、高灵敏度和清洁测试条件的应用
< 5 • 10-12
< 5·10-8
∼ 10-7
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