型号
EP-1510
EP-2010
EP-2515
工
作
台
金属工作台面尺寸
300×170mm
350×170mm
420×250mm
玻璃台面尺寸
175×127mm
225×120mm
290×190mm
X坐标行程
150mm
200mm
250mm
Y坐标行程
100mm
Z坐标行程
90mm
X,Y坐标数显分辨率
0.001mm
轴向测量精度
（3+L/100）um
投
影
屏
投影旋转范围
0~360度
旋转角度数页分辨率
0.01度
平面及表面轮廓精度
0.08%
投影屏尺寸
直径315mm
直径415mm
物
镜
放大倍率(任选其一)
10×
20×
50×
物方视场范围(直径)
30mm
15mm
6mm
40mm
20mm
8mm
物方工作距
75mm
35mm
81mm
71mm
65mm