本仪器空气采样量为2.83 L/min (即0.1立方英尺/每分钟),符合国际通用标准—美国联邦标准209E (92年9月16日公布)的要求,便于与国际接轨,能直接检测300000级、100000级、10000级、1000级、100级的洁净环境.
3.洁净室(区)空气洁净度级别表:
洁净度级别
尘粒*大允许数/立方米
尘粒*大允许数/2.83升
≥0.5μm
≥5μm
100级
3,520
29
10
0
1000级
35,200
293
100
10,000级
352,000
2,930
996
8
100,000级
3,520,000
29,300
9,962
83
300,000级
10,560,000
87,900
29,885
249
1000,000级
35,200,000
293,000
99,616
829