2.1.1 金属台尺寸：600×600mm
2.1.2 玻璃台尺寸：400×400mm
2.1.3 外形尺寸：770×590×1100mm
2.1.4 运动行程：300×300mm
2.1.5 仪器重量：200Kg
2.1.6 摄像机：日本SONY CCD
2.1.7 X、Y、Z数显解析度：0.001mm
2.1.8 X、Y坐标示值误差：≤(3+L/200)μm
3、仪器电源
3.1 使用电源：AC100V/220V
3.2 消耗功率：<100W（不包括电脑）