_适用于大型光学元件的非接触式高精度3D表面形貌检测
泰勒·霍普森TAYLOR HOBSON近日发布LUPHOScan 850 HD非接触式3D光学表面形貌测量系统, 这一新品的推出突破了大型光学计量的极限, 填补了行业内大型复杂光学元件非接触式高精度三维表面形貌检测的空白。
测量原理
LUPHOScan 850 HD以全球优越的LUPHOScan HD测量平台为基础,采用多波长干涉测量技术。 当光学元件旋转时, 传感器沿着被测件的轮廓移动,对整个面形进行螺旋式扫描。这种技术可以测量非球面、球面、平面、衍射面和自由曲面等任何光学表面形状。
LUPHOScan HD
LUPHOScan 850 HD的一系列前瞻性**为您提供可以信赖的测量结果。
革ming性的测量能力
被测工件的直径*小可达5mm,*大可达850mm,高度可达210mm,被测工件*大重量可达350Kg。
超高的测量精度
能够**地测量3D表面面形,面形误差的重复性<λ/20(PV99)和 ≤5nm RMS*。
超高的采样点数
高达600万的测量点数, 可以**地测量和分析大尺寸光学元件的中频面形误差。
自由曲面的检测
对自由曲面,圆周*大切向坡度变化可达±8°。(工件陡度可以达到90°)
几乎能测量所有材料
可测量透明、不透明、镜面、抛光或磨光表面。
测量环境条件变化的实时误差补偿
配置四个温度补偿传感器和一个气压测量传感器。
自动调心调平
全自动测量, 提供极为稳定而**的测量结果。
*随被测件的大小、形状和重量而变化
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