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__*快速的非球面自由曲面测量解决方案
ZYGO于2021年10月18日在美国罗彻斯特国际光学产品技术展 (SPIE Optifab)中,推出了其全新一代的Verifire Asphere+非球面激光干涉仪(简称VFA+),并展示了*新的计量技术方案。
*新的VFA+长这样
VFA+建立在上一代Verfire Aphere非球面干涉仪成功的基础之上,基于拼接技术,使用标准球面标准镜及干涉仪主机,就可以快速、非接触、高分辨率地测量出轴向对称的非球面表面形貌。
VFA+具备非球面测试能力的同时,也是一个高精度曲率半径测试平台。其专业的设计,能非常有效地隔绝环境震动和气流扰动的影响,使其光学器件曲率半径的测试重复性达到百纳米的级别。
VAF+能完全覆盖一台高精度和稳定的立式球面/平面激光干涉仪,基于其六个维度(X平移、Y平移、倾斜、俯仰、高低、旋转)全自动调整的样品台,用户可以自主完成全自动化的测试脚本程序。
除了拥有以上这些上一代Verfire Aphere已有的特点和优势之外,新的VFA+更新了强大的Mx软件(👈点击“Mx软件”了解更多详情),采用了更稳定可靠的测量仓设计,更重要的是:
VAF+可以高速批量检测,包括自由曲面在内的非球面光学器件。
VFA+图示👆
ZYGO的VFA+集成了一个可选的工作台,用于放置转换波前的全息板 (CGH)(👈点击“全息板(CGH)”了解更多详情)。基于CGH,VFA+可以测试包括自由曲面在内的各类非球面,包括样品校准在内的测样过程,单次在十几秒内,就可以测得非球面3D相貌(百万像素级数据密度),可以适用于各类自由曲面、圆柱及离轴圆锥曲面。
这一全新的技术方案,将打开大规模批量柔性光学制造技术的大门。从此,非球面光学加工质量控制将变得更容易执行,且更具有成本效益。
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