英国TAYLOR HOBSON非接触形貌仪 CCI LITE

英国TAYLOR HOBSON非接触形貌仪

简单介绍

TAYLOR HOBSON: CCI Lite非接触形貌仪采用CCI（砖利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度、三维及二维尺寸、表面缺陷检测分析并生成统计报告

产品描述

英国TAYLOR HOBSON非接触形貌仪： CCI Lite非接触形貌仪采用CCI（砖利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度、三维及二维尺寸、表面缺陷检测分析并生成统计报告；

英国TAYLOR HOBSON非接触形貌仪：

1. 减震基座及立柱：

铸铝基座：结合气浮减震,提高测量的稳定性和重复精度

钢结构立柱：提高测量回路的坚固性和稳定性,降低外部震动影响

2. 系统参数

(1) 干涉类型： CCI 干涉，泰勒霍普森砖利相干相关算法

(2) 测量量程： 2.2mm(标准), >10mm是采用数据拼接

(3) 分辨率： 0.1 A

(4) RMS重复性： <0.02nm

(5)垂直扫描速度： 7 um/s

(6) 测量点数： 1 1024 x 1024 点阵

(7) X Y 轴单次测量范围： 0.36 – 7.2 mm

(8) X Y 轴分辨率： 0.4-0.6um（

(9) 台阶高度的重复性： >0.1 %

(10)系统噪音： <0.08nm

(11)测量时间：典型样品5-20秒

(12) 被测件的反射率： 0.3 –100%

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