扩展量程： 520mm
分辨率： 0.01/0.001mm
示值误差： (2.0+L/300)um, L:mm
重复性： 2um平面，3um孔
直度（机械）：≤15um 正面
电池充电后的操作时间；14小时以内
测量力： 1.0±0.2N
允许*大空气湿度： 65%(非冷凝空气)
*佳工作温度： 20±1℃
操作温度： 10-40℃
3点气浮高度： 约9um
测量系统： 光栅测量系统
总高度： 741mm
底座外形尺寸（LxW）: 240x250mm
重量: 25kg
沪公网安备 31011502007567号
