激光蚀刻测量
激光蚀刻是用于集成电路打印标号的主要方法之一。其部分原因是由于激光标记是防窜改的识别方法。防窜改标记大大有助于减少IC赝品，它还有助于销售具有较高速度和规格的IC产品。
计量
台阶高度 由于IC封装变得更小更薄，所以激光蚀刻台阶高度的测量要求也变得更加重要。激光蚀刻的目标深度通过两项指标要求来描述。首先，深度必须足以提供可被IC系统读出的防篡改标记，其次，深度不可过度，不能损坏芯片上的电路。
粗糙度 蚀刻标记的表面粗糙度是控制能否通过机器或人眼轻易读出*终标识的一个重要因素。表面越粗糙，分散的光越多，这样可增加标记与其周围表面之间的对比度。
沪公网安备 31011502007567号
