岱美中国拿到采购Filmetrics膜厚测量仪F50-EXR的订单（2011.6.17）

日期：2024-11-13 15:05

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摘要：

岱美中国拿到采购Filmetrics膜厚测量仪F50-EXR的订单。该客户是国内知名的工学研究机构，主要研究微电子和集成电路制造技术，与工业部门合作研制出国内**块工业实用PN结隔离集成电路、ECL高速电路和国内**块8位、16位微处理器。开展微电子机械系统（MEMS）和SOI材料研究，在国内居**地位，并在国际上占据了重要的一席之地。主要用来测量各种半导体信息功能材料，比如GST等。

F50-EXR膜厚测量仪采用的是波长范围在380-1700nm的可见红外光干涉测量，能够测量15nm-250um范围的膜层厚度，精度达0.1nm，系统自身拥有坐标扫描定位，本身所带的波长范围很宽广，测量厚度范围因此很广。

（系统已于2011年8月交付，安装和和验收）

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