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岱美中国拿到采购Filmetrics膜厚测量仪F50的订单(2011.7.8)
日期:2024-11-26 11:48
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摘要:
岱美中国拿到采购Filmetrics膜厚测量仪F50的订单(2011.7.8)。该客户是是由日本磁性流体技术株式会社投资于上海宝山城市工业园区的全资公司。公司创立于1995年5月,现投资总额175.8亿日元,注册资本76.8亿日元。主要产品包括8英寸(含8英寸)以下各种规格的太阳能级单、多晶硅锭和单、多晶硅片, 4”-6”MOS、微波电路、存储器电路及大功率器件使用的外延衬底重掺的半导体研磨片和抛光片,半导体热电材料,覆铜陶瓷基板,精密零部件洗净再生和电镀服务。产品涉及电子、半导体、太阳能发电等产业领域。仪器主要用于测量半导体各种硅片的厚度。
F50膜厚测量仪采用的是波长范围在380-1050nm的可见光干涉测量,能够测量20nm-100um范围的膜层厚度,精度高达0.1nm,可智能化设定坐标,扫描所测样品的表面厚度分布。
(系统已于2011年12月交付,安装)