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岱美中国拿到Filmetrics膜厚测量仪F50-XT和F40-EXR的订单(2013.3.15)

日期:2024-11-23 21:39
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摘要:
      岱美中国拿到Filmetrics膜厚测量仪F50-XT和F40-EXR的订单。该客户是我国有名的技术学科综合性研究所之一,自新中国成立以来已获得***奖励50余项、部委省市级奖励330余项。于50年代在国内率先研制成功球墨铸铁,并成功解决了包头高含氟铁矿的冶炼和稀土元素回收问题;60年代初研制成功用于浓缩铀235的关键部件“甲种分离膜”;60年代以后,又在国内率先建立了超纯金属和III-V族化合物半导体材料研究基地和发展了微电子和集成电路制造技术,与工业部门合作研制出国内**块工业实用PN结隔离集成电路、ECL高速电路、国内**块8位、16位微处理器等微电子器件,80年代中期利用微电子技术基础开展了微电子机械系统(MEMS)和SOI材料的研究,90年代末和20世纪初开展了低轨卫星通信技术、无线传感器网络和新一代移动通信技术的研究,为国民经济发展、国家**和社会进步作出了重大贡献。

F50-XT膜厚测量仪采用的是波长范围在1440-1690nm的红外光干涉测量,全自动Mapping功能能够测量0.2um-450um范围的膜层厚度,准确度高达5nm,精度为1nm。
F40-EXR带显微镜膜厚测试系统,波长范围为:400-1700nm,准确度高达千分之四或者1nm之间较大者,精度0.07nm。适用于需要用显微镜测试微小区域的膜厚测试。

F50-XT图片:


F40-EXR图片:
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