技术参数: 规格型号Tomo scopeTomo CheckTomo scopeHV轴向测量范围(X-轴)200mm200mm300mm(Y-轴)100mm100mm350mm(Z-轴)200mm 轴向测量*大允许误差(2.5+L(mm)/120)µm(0.25+L(mm)/900)µm(2.5+L(mm)/120)µm*大回转直径 (径向X-轴) 90mm90mm150mm分辨率0.1µm0.01µm0.1µm定位速度150mm/s60mm/s150mm/s加速度300mm/s2250mm/s2350mm/s2工作台承重2kg 40kg电源230 V3X400V/N/PE230 V频率48-62Hz48-62Hz48-62Hz气压 7-10 bar X光电压max.130kV130kV225kV仪器重量950kg6000kg8500kg精度保证环境条件20℃±2 k Δ=1 k/h m≤2kg20℃±1 k Δ=0.5 k/h m≤10kg20℃±2 k Δ=1 k/h m≤10kg湿度40-70rel.40-70rel.40-70rel.空气指标max.0.05mg/m3max.0.05mg/m3max.0.05mg/m3温度10-35℃10-35℃10-35℃