主要优点◆ 使用三坐标测量机中的探针接头◆ 在工件坐标系中测量◆ 光学测量部分可以进行标定◆ 可以测量宏观和微观的结构◆ 使用简单◆ 费用低
局限◆ 一维的传感器◆ 接触式
可以测量的特征◆ 尺寸, 位置, 二维形貌 (三维形貌部分可测)◆ 可以用于SPC和首件测量报告