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白光干涉仪
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白光干涉仪
产品资料
白光干涉仪
如果您对该产品感兴趣的话,可以
产品名称:
白光干涉仪
产品型号:
WLI1000
产品展商:
Rtec
产品文档:
无相关文档
简单介绍
本公司的WLI1000白光干涉仪测量系统沿着纵轴捕获一系列位置的光强数据。通过白光干涉图的形状,干涉图的局部相位或者是二者的结合来确定表面位置。本公司还有激光共焦,白光共焦,拉曼光谱仪等,可以把这些设备自由组合在一起,以实现客户的不同需求
产品描述
白光干涉测量系统沿着垂直轴向捕获光强数据,通过白光干涉图的形状,局部相位或者两者结合确定表面位置
Vertical Resolution
垂直分辨率
0.1nm
0.1nm
Turret
转轮
upto 6 objective turret (manual or automatic)
6镜头转轮(自动或手动)
Scan Range
扫描范围
Up to 150mm x 150mm
*高达150mmx150mm
Sample thickness
试样厚度
upto 100mm
*高达100mm
FOV
视场
upto 10mm
*高达10mm
Objectives
物镜
10x,50x
10倍,50倍
Z focussing range
Z轴方向聚焦范围
nm to 10mm
0.1nm到10mm
Scanning area
扫描区域
150x150mm
150x150mm
Tilt
倾斜角
+/- 7 degree
+/-7度
Rotation (theta)
平台旋转范围
360 Degree
360度
Pixel
像素
Standard 1024 x 1024
标准1024x1024
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