白光干涉仪 WLI1000 南京冉锐科技有限公司

简单介绍

本公司的WLI1000白光干涉仪测量系统沿着纵轴捕获一系列位置的光强数据。通过白光干涉图的形状，干涉图的局部相位或者是二者的结合来确定表面位置。本公司还有激光共焦，白光共焦，拉曼光谱仪等，可以把这些设备自由组合在一起，以实现客户的不同需求

产品描述

白光干涉测量系统沿着垂直轴向捕获光强数据，通过白光干涉图的形状，局部相位或者两者结合确定表面位置

Vertical Resolution 垂直分辨率	0.1nm 0.1nm
Turret 转轮	upto 6 objective turret (manual or automatic) 6镜头转轮（自动或手动）
Scan Range 扫描范围	Up to 150mm x 150mm *高达150mmx150mm
Sample thickness 试样厚度	upto 100mm *高达100mm
FOV 视场	upto 10mm *高达10mm
Objectives 物镜	10x,50x 10倍，50倍
Z focussing range Z轴方向聚焦范围	nm to 10mm 0.1nm到10mm
Scanning area 扫描区域	150x150mm 150x150mm
Tilt 倾斜角	+/- 7 degree +/-7度
Rotation (theta) 平台旋转范围	360 Degree 360度
Pixel 像素	Standard 1024 x 1024 标准1024x1024

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