IDP-3 涡旋式干泵是Varian 公司*新推出的紧凑型全无油的高性能真空泵，能够适合非常广泛的应用需要。IDP-3 是世界上*小的涡旋泵，用于各种粗真空获得应用，重量仅有9.5Kg，能够轻而易举地集成到各种实验、分析、生产系统当中。IDP-3 所具有的50/升/分钟抽气速度以及 250mTorr（约33Pa）极限压强，使其在同级别产品当中具有无可匹敌的优势。特点：※全无油泵，不会污染真空系统※采用独立马达与轴承的密封设计※体积小巧：351x181x140mm※与老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的极限压强※无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件※低噪声，低振动技术参数：