涡旋式干泵 TriScroll 600

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产品名称：涡旋式干泵
产品型号：TriScroll 600
产品展商：美国瓦里安（VARIAN)
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简单介绍

TriScroll 600涡旋式干泵抽速8 L/S,极限压强7 x 10-3mbar;Varian公司利用干式涡旋真空获得技术为用户提供了高抽速，低极限压强的涡旋式干泵产品,这种干式涡旋泵具有全无油、高耐用性、高可靠性，噪音小等特点。

产品描述

技术参数：

*大抽50Hz,cfm, l/min,m³/h	420,25.2 (14.8)	气镇口	1/4”内螺纹NPT提供40微米烧结过渡塞
极限压强mbar /Torr	9.3 x 10^-3/7 x 10^-3	电机功率（单相）	1.0(0.76)
*大抽气口压强atm	1.0	电机热保护	U型自保护
*大排气口压强atm	1.1 (1.5)	工作电压	单相:50-60Hz/100-115:220-230VAC; 三相:50 Hz/200-230:380-415 VAC; 60 Hz/200-230:460 VAC
抽气口接口	NW 40	冷凝方式	风冷
排气口接口	3/8”内螺纹NPT提供 NW25过渡零件	重量	40 kg (87 lbs)
工作转速（rpm） 50/60 Hz	1425/1725	噪音等级	68

涡旋式干泵（SH110,TS,TSInverter）参数对照：

型号	SH110	TS300	TS600	TS600Inverter	TS300Inverter
*大抽速50Hz, l/min,m3/h(cfm)	90,5.4/3.3	210,12.6/7.4	420,25.2/14.8	250,15/8.8	500,30/17.7
极限压强Torr/mbar	6 x 10^-25 x 10^-2	1.3 x 10^-21 x 10^-2	9.3 x 10^-37 x 10^-3	1.3 x 10^-21 x 10^-2	9.3 x 10^-37 x 10^-3
抽气口*大压强atm	1.0	1.0	1.0	1.0	1.0
排气口*大压强atm	1.5/7.5	1.1/1.5	1.1/1.5	1.1/1.5	1.1/1.5
抽气口接口	NW25	NW25	NW25	NW25	NW25

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