复合分子泵 Turbo-V 81-M

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产品名称：复合分子泵
产品型号：Turbo-V 81-M
产品展商：美国Agilent（原瓦里安)
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简单介绍

Varian复合分子泵性能优良，节能型设计进一步提高了分子泵的可靠性和稳定性，能耗和发热小，复合分子泵抽速77 l/s，复合分子泵极限压强5 x 10-8 mbar,复合分子泵可根据需要选择冷却方式。

产品描述

武汉普斯特科技有限公司拥有一支专业、优良的产品技术工程师和维修技术工程师，具有丰富的真空泵维修经验，公司主要代理品牌：美国Agilent公司--原美国瓦里安真空泵湖北、江西总代理（离子泵、分子泵、扩散泵、干泵、机械泵、罗茨泵、真空规及真空计）；美国MPF公司真空电极中国总代理（单电极、多电极、电压型电极、电流型电极、同轴电极等真空电极Feedthrough）；英国Wayne Kerr公司产品湖北总代理（精密阻抗分析仪、高频LCR测试仪、磁性元件测量仪），同时公司还和美国Stanford Research Systems公司（锁相放大器、前置放大器、RGA残余气体分析仪、QSM四极质谱仪、DG535延迟信号发生器）、美国Labtech公司湖北总代理（循环水冷却器、电加热产品）等几家世界先进设备制造商建立了合作关系。

Turbo-V 81-M ：

特点：
Varian��合分子泵性能优良，节能的同时也降低了发热，提高了复合分子泵的可靠性，优化了空气散热的冷却片，从而获得更高的稳定性。除此之外可以优化Turbo-V 81-M MacroTorr 复合分子泵的几何结构，提高前级耐压和足够大的抽气量，降低能耗和发热，可拆卸的前级管道接口可选空气或水冷却方式进行冷却。

新Turbo-V 81-AG 架装控制器：
※可从前面板或遥控方式进行操作
※可以适用于世界各国不同电网的电压和频率
※在停泵过程中可显示泵的转速
※在停泵过程中可以进行反馈制动
※可以通过延时或设置开启时间来驱动充气阀
※可以驱动直流24V的泵冷却风扇
※可通过 EyesysMini-IMG真空变送器读取高真空压力
※可选择Profbus 界面
※可选RS-232 或 RS-485 界面

复合分子泵技术参数：

抽速(l/s) CF4 1/2&ISO63 CF2 3/4&KF40	N₂:77 He:65 H₂:50 N₂:50 He:56 H₂:46
压缩比	N₂: 5×10⁸ He:8×10⁴ H₂:7×10³
推荐前级泵压强	5×10^-3mbar/3.8×10^-10 Torr
入口法兰	CF4 1/2' O.D. ISO63 CF4 3/4' O.D. KF40
前级法兰	KF16 NW
转速	1350Hz(*大值）
启动时间	＜60s
推荐前级泵	机械泵：Varian DS42-DS102 干泵：Varian SH100
工作位置	任意
冷却	空气冷却，也可选空气或水冷却
烘烤温度	120°C入口法兰（大值）（CF法兰） 80°C入口法兰（大值）（ISO法兰)
震动（入口法兰）	＜0.01um
重量Kg/ lbs	ISO63: 2/4.4 CF4 1/2: 2.98/6.57

复合分子泵参数对照：

型号	Turbo-V-81 M		Turbo-V-81 T
规格	DN40	DN63	DN40	DN63
抽速l/s N₂/He/H₂	50/56/46	77/66/50	50/56/46	77/66/50
压缩比: N₂/He/H₂	5×10⁸ /8×10⁴/7×10³	5×10⁸ /8×10⁴/7×10³	7×10⁸ /3×10³/3×10²	7×10⁸ /3×10³/3×10²
前级压强,mbar 推荐前级泵/干泵	5×10^-10/5×10^-9	5×10^-10/5×10^-9	5×10^-9/5×10^-8	5×10^-9/5×10^-8
启动时间，min	＜1	＜1	＜1	＜1
转速,rmp	80,000	80,000	80,000	80,000
推荐前级泵机械泵&干泵	DS42-DS102 &SH110	DS42-DS102 &SH110	DS42-DS102 &SH110	DS42-DS102 &SH110
入口法兰,直径, KF /ConFlat /ISO	40 /35(2.75) /--	-- /63(4.5) /63	40 /35(2.75) /--	-- /63(4.5) /63
前级法兰,直径,/KF	NW16	NW16	NW16	NW16

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