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涡旋式干泵

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美国瓦里安真空泵及检漏仪湖北地区指定产品供应商！
您还在因油旋片泵返油而烦恼吗？		IDP-3涡旋式干泵抽速1L/S
由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成**影响，如
生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油阀题。真空镀膜设备的镀膜工艺中，在
20~40Pa真空条件下镀膜时，如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造
成污染，影响成膜量。半导体晶片制造工艺当中使用油泵与使用干泵相比，成品率存在明显的
差距，并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染。科学仪器行业尤其是在分析试仪器行业，采用
油泵对测试结果将造成**影响。大型同步辐射光束线上采涸用涡旋无油真空泵作为前级真空泵
的作用也相当明显。另外涡旋无油真空泵消除了普通油泵的漏油给用户带来的环境污染与烦恼
烦。瓦里安涡旋式干泵能够真正解决你的烦恼，使系统完全无油。
涡旋泵式干泵		SH-110涡旋式干泵抽速2L/S
Varian 公司利用干式涡旋真空获得技术为用户提供了高抽速，低极限压强的真空泵产品。这
种干式涡旋泵具有全无油、高耐用性、高可靠性以及易维护等优势，使众多应用领域的理想前
级真空获得产品。IDP-3干式涡旋泵是Varian公司*新推出的紧凑型全无油的高性能真空
泵，是世界上*小的涡旋泵，用于各种粗真空获得应用。
TriScroll300/600是Varian公司生产的一款用于初级真空获得的多极干式涡旋泵产
品，具有出色的工作稳定性。TriScroll600以高抽速为用户提供了具有较低极限真空
的无油洁净环境。
涡旋泵式干泵的特点：		TS300涡旋式干泵抽速4L/S
※全无油泵，不会污染真空系统。
※配有自动气镇阀以有效排空水蒸气,可抽可凝性气体。
※维护简便，只需定期更换密封圈即可。
※具有轴承吹扫功能，保护轴承不被工艺气体或粉尘污染。
※内置故障保护隔离阀保证真空系统的被污染。
※独有的TriScroll^TM专业结构设计，使TriScroll涡旋干泵具有可靠性和耐久性。
涡旋式干泵VS油旋片泵		TS600涡旋式干泵抽速8L/S
1.涡旋真空泵的主要优点是间隙小、泄漏少，具有较高的压缩比，在较宽的陋力范围内有稳定的
抽速，工作压力范围宽；由于压缩腔容积的变化是连续的，因而驱动扭矩变化小，功率变化
小，振动噪声低，可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。
2.为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染，需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子；系统
运行过程当中还需要定期清洗除油；有的需要定期更换真空泵油。采用涡旋无油真空泵：
不需要加冷阱之类捕油机构、不需要换真空泵油、第三振动更小、运行更平稳、
第四能耗降低、第五重量更轻、第六突破了油泵使用范围的限制，上述优点使涡旋无油真空
泵成为普通旋片油真空泵的更新换代产品。
技术文章及产品应用
1.涡旋式干泵的工作原理
2.无油涡旋式干泵的优点
3.使用涡旋式干泵的基本常识
4.涡旋式干泵的应用领域：半导体制备设备与处理室抽真空泵；用于液晶注入系统；分子泵真空系统的前级泵；真空密封泵
冷泵前级；用于科学和化学分析仪器；真空发生器；电子显微镜前级泵；集成电路；太阳能电池等设备中的无油抽气系统；
真空冶金工业的真空脱气；真空熔炼；钢水真空处理,空间模拟；低密度风洞等装置中抽除非腐蚀性气体化工、食品、医药；
电机制造等工业的蒸馏蒸发、干燥等。
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