涡轮分子泵的抽气原理
分子泵输送气体应满足二个必要条件:
1)涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时,其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有0.06μm,即平均看一个气体分子只要在空间运动 0.06 μm ,就可能与**个气体分子相碰。而在1.3Pa时,分子间平均自由程可达4.4mm。若平均自由程增加到大于容器壁间的距离时,气体分子与器壁的碰撞机会将大于气体分子之间的碰撞机会。在分子流范围内,气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时,气体分子就会较多地射向转子和定子叶片,为形成气体分子的定向运动打下基础。
2)分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。分子泵的转速越高,对提高分子泵的抽速越有利。实践表明,对不同分子量的气体分子其速度越大,泵抽除越困难。
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1.涡旋式干泵的工作原理 2.无油涡旋式干泵的优点 3.使用涡旋式干泵的基本常识 4.涡旋式干泵的应用领域:半导体制备设备与处理室抽真空泵;用于液晶注入系统;分子泵真空系统的前级泵;真空密封泵冷泵前级;用于科学和化学分析仪器;真空发生器;电子显微镜前级泵;集成电路;太阳能电池等设备中的无油抽气系统;真空冶金工业的真空脱气;真空熔炼;钢水真空处理,空间模拟;低密度风洞等装置中抽除非腐蚀性气体化工、食品、医药;电机制造等工业的蒸馏蒸发、干燥等。