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德国耶拿尔JENAer双频激光干涉仪
   本公司在国内**代理德国耶拿尔JENAer双频激光干涉仪，如果贵单位有该方面的需求，欢迎与我们联系，我们将为你提供详细的中文说明书和样本供你选型，以下为部分技术参数表：
德国耶拿尔JENAer双频激光干涉仪性能参数
 
使用标准数据处理器AE700
使用高性能数据出来器AE950
He-Ne激光平均波长：
632.8nm
632.8nm
激光稳频精度：
一小时2x10-9（±0.002ppm）
寿命内2x10-8（±0.02ppm）
一小时2x10-9（±0.002ppm）
寿命内2x10-8（±0.02ppm）
系统精度（0-40℃时）：
±0.4ppm
±0.4ppm
光束直径：
6mm (可选3.2mm)
6mm (可选3.2mm)
激光管突发*大输出功率：
1mW(激光等级2)
1mW(激光等级2)
每束光可测量的轴数：
1，可选*多6个
1，可选*多6个
线性测量距离：
40m，可扩展为120m
40m，可扩展为120m
角度测量范围：
± 15°，20m行程
± 15°，20m行程
平面度测量范围：
20m行程
20m行程
直线度测量范围：
± 5mm，2m或10m行程，
选用角度干涉仪可测30m行程
± 5mm，2m或10m行程，
选用角度干涉仪可测30m行程
垂直度测量范围：
± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉仪
± 5mm，2m或10m行程，
30m行程需用角度干涉仪
*大速度：
4m/s，可选16m/s
320rad/s 角速度
4m/s，平移量
80rad/s，角速度
*大加速：
无限制
无限制
*高采样频率：
内部1MHz，外部40MHz
内部1MHz，外部40MHz
预热时间：
12分钟
12分钟
精度/非线性：
±1.25nm(角隅反射镜)
±0.62nm(平面反射镜)
±0.3nm(角隅反射镜)
±0.1nm(平面反射镜)
距离测量分辨率：
2.5nm(角隅反射镜)
1.25nm(平面反射镜)
0.6nm(角隅反射镜)
0.3nm(平面反射镜)
0.1nm 可选
距离测量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK时
(20°±0.5°) 真空中时
 
±0.4ppm(μ/m)
±0.08(±0.02)ppm (μ/m)
 
±0.4ppm(μ/m)
±0.08(±0.02)ppm (μ/m)
线性度测量分辨率：
2.5nm(角隅反射镜)
1.25nm(平面反射镜)
0.62nm可选
0.6nm(角隅反射镜)
0.3nm(平面反射镜)
0.1nm 可选
线性度测量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK时
(20°±0.5°) 真空中时
 
±0.4ppm(μ/m)
±0.08(±0.02)ppm (μ/m
 
±0.4ppm(μ/m)
±0.08(±0.02)ppm (μ/m
速度测量精度：
±0.5ppm实测值
±0.5ppm实测值
角度测量分辨率：
0.062μrad(12x10-3 弧秒)
0.015μrad (3x10-3 弧秒)
角度测量精度：
±0.1ppm实测值
±0.1ppm实测值
平面度测量分辨率：
0.062μrad(12x10-3 弧秒)
0.015μrad (3x10-3 弧秒)
平面度测量精度：
±0.2%实测值
±0.05弧度/米运行距离
±0.2%实测值
±0.05 弧度/米运行距离
直线度测量分辨率：
145nm，10m行程
29nm，2m行程
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
直线度测量精度：
±0.5%实测值，2m行程
±2.5%实测值，10m行程
±0.5%实测值，2m行程
±2.5%实测值，10m行程
垂直度测量分辨率：
145nm，10m行程
29nm，2m行程
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
垂直度测量精度：
±0.5%实测值2m，±0.5弧秒*
±2.5%实测值10m，±0.5弧秒*
±0.5%实测值2m，±0.5弧秒*
±2.5%实测值10m，±0.5弧秒*
数据接口：
积分信号
32 Bit (实时时间)
 Dt » 20 ns
积分信号
32 Bit (实时时间)
 Dt » 20 ns
数据分析标准：
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境：
温度：15°C-30°C
湿度： <90%无冷凝
温度：15°C-30°C
湿度：<90%无冷凝
储存环境：
温度：10°C-40°C
湿度：<95%无冷凝
温度：10°C-40°C
湿度：<95%无冷凝
 
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