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激光干涉仪同轴度测量的特殊性
激光干涉仪同轴度测量的特殊性
对于长距离直线度、同轴度测量系统，要达到高的测量精度，系统必须具有以下特点：
1.   能够进行间断测量。测量传感器元件暂时离开光路再回到光路中，仪器能够照常继续工作，即暂时扫光并不影响测量结果。这是测量同轴度必须的。
2. 测量系统对激光光束的平漂和角漂具有自适应性，光束的漂移应不影响测量结果。
3. 光学系统的设计应使干涉仪对大气的扰动具有较强的抵抗力。
另外，由于在长距离上进行测量，因为仪器的任何微小变形都会引起光束远处大的变化。因此，对仪器结构的受热应有足够的重视。同时，由于在进行同轴度测量时定心靶必须从一个孔移到另一个孔，测量所用的时间比较长，因而干涉仪应具有较好的长时间稳定性。

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