3D激光干涉仪

激光器和镜组	数据处理器	光学镜组

世界范围内，同类产品中效率精度*高的干涉仪。

• 三轴路外差式激光干涉仪，用于位移、俯仰角和偏摆角的同步测量
• 高灵活性调整模块，适用于所有数控机床的参数的测量
• 动态测量*大速度4m/s，实时显示三个轴路的测量数据
• 小型反射镜，带有磁性固定装置
• 适用于笔记本电脑、PCI和PXI数据处理器安装，与网络兼容  
• 使用高精度温度传感器进行数据补偿
• 激光器稳频精度：一小时：2x10^9（±0.002ppm），寿命内：2x10^8（±0.02ppm）
• 数据同步精度：20ns   
• 所有3轴实时数据测量，无延时  
• 可定制小型反射镜
• 外部*大触发频率40MHz

位移测量范围

15 m

位移测量分辨率

1.25 nm

位移测量精度

+/-0.4 ppm（需使用环境补偿器）

位移测量*大速度

2 m/s

位移速度测量精度

1 ppm

角度测量范围

+/-10°

角度测量分辨率

0.006 arc second

角度测量精度

+/-0.1 ppm（角度沿某中心旋转）

+/-0.02%+/-0.5+/-0.1M（M=轴向标定距离，单位为米）

角度测量*大速度

90 rad/s

角速度测量精度

1 ppm