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椭偏仪测量中使用不同的硬件配置


  在光谱椭圆部分仪器用于测量不同的硬件配置,但每个配置必须能够产生已知偏振光束。通过测量反射偏振检测样品后的光。这需要仪器来量化变化的极化ρ。一些仪器测量ρ是由初始状态的偏振旋转偏振片(称为部分)。重用**固定位置的宝丽来(称为局部检测器)来测量输出光束的偏振。其他乐器是固定了分析仪和局部检测器,和国家的偏振调制在中间部分,如使用声光晶体,*后得到输出光束偏振。这些不同的配置的*终结果用于测量波长和入射角ρ复杂。当选择合适的椭圆部分仪器、光谱范围和测量速度通常是一个重要考虑因素。可选的光谱范围从142纳米到深紫外红外33
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