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椭偏仪的详细说明

　　椭偏仪简介：
　　早期的调研主要集中于偏振光及偏振光与材质相互作用的物理学调研以及仪器的光学调研。计算机的发展使椭偏仪在更多的领域得到应用。硬件的自动化和软件的成熟大大提高了运算的速度，成熟的软件提供了解决问题的新方法，因此，椭偏仪现在已被广泛应用于调研、开发和制造过程中。
　　光谱范畴
　　早些年， 的工作波长为单波长或少数独立的波长，*典型的是采用激光或对电弧等强光谱光进行滤光产生的单色光源。现在大多数的椭偏仪在很宽的波长范畴内以多波长工作(通常有几百个波长，接近连续)。和单波长的椭偏仪相比，多波长光谱椭偏仪有下面的优点：可以提升多层探测能力，可以测试物质对不同波长光波的折射率等。
　　椭偏仪的光谱范畴在深紫外的142nm到红外33µm可选。光谱范畴的选择取决于被测材质的属性、薄膜厚度及关心的光谱段等因素。例如，掺杂浓度对材质红外光学属性有很大的影响，因此须要能量测红外波段的椭偏仪;薄膜的厚度量测须要光能穿透这薄膜，到达基底，然后并被探测器检测到，因此须要选用该待测材质透明或部分透明的光谱段;对于厚的薄膜选取长波长更有利于量测。
　　椭偏仪应用：
　　光谱型椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材质微结构的光学量测设备。由于与样品非接触，对样品没有破坏且不须要真空，使得椭偏仪成为一种**吸引力的量测设备。
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