技术参数

主要特点

X-Strata960测厚仪基于25年涂镀层测量经验，在CMI900系列测厚仪的坚实基础上，引进全新的设计：

1、新100瓦X射线管 ： 市场上所能提供的*强大的X射线管。提高30%测量精度，同时减少50%测量时间
2、更小的X射线光斑尺寸 ： 新增15mil直径准直器，可测量电子器件上更小的部位。提供改进的CCD摄像头及缩放装置，同时提供更高精度的Y轴控制。
3、距离独立测量（DIM） ：更灵活地特殊形状样品，可在DIM范围内12.5-90mm（0.5-    3.5inch）对样品表面进行测量，Z轴可控制范围为230mm（9inch）。可通过手动调整也可以通过自动镭射聚焦来实现对样品的**对准。
4、自动镭射聚焦 ：自动寻找振决的聚焦距离，改善DIM的聚焦过程并提高系统测量再现性。也可选择标准的镭射聚焦模式。
5、全新的大型测厚仪样品室 ：更大的开槽式测厚仪样品室（580x510x230mm : 23x20x9inch）,开槽式设计可容纳超大尺寸的样品。可从各个方向简便的装载和观察样品。
6、3种测厚仪样品台选项 ：XY程控控制(200x200mm或8x8inch移动范围)/XY手动控制（250x250mm或10x10英寸）/固定样品台；标准配置Z轴程控控制(230mm或9inch移动范围)。

仪器介绍

分析方法

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相关资料

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