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公司简介
关于FEI公司:
Tools for NanoTech
FEI 公司的纳米技术工具,以聚焦离子束和电子束技术为特色,提供*高分辨率小于1 埃的3D 特征描述、分析及修改功能。公司在北美和欧洲拥有研究开发中心,在全球四十多个国家经营销售和提供维修服务。FEI 公司将纳米尺度呈献给研究人员和生产厂商,协助将本世纪一些*杰出的理念变成现实。更多的信息可在FEI 公司网页上找到:http://www.fei.com
FEI公司历史简介:
1949年
飞利浦电子光学发布了全球**台商用透射电子显微镜
1958年
飞利浦电子光学突破10埃的透射电镜分辨率(EM200)
1971年
FEI成立,向用户提供高纯、单一取向晶体作为场发射研究的材料
1975年
飞利浦电子光学发布EM400透射电子显微镜,成为现代透射电镜发展的基础
1977年
飞利浦电子光学发布高分辨扫描电子显微镜
1981年
FEI发明液体金属离子源(LMI),成为聚焦离子束(FIB)设备开发的基础
1982年
FEI**只聚焦离子束镜筒交货
1983年
FEI交付**个静电场聚焦电子镜筒
Micrion成立, 致力于开发掩膜修复用途的聚焦离子束系统
1985年
Micrion交付**台聚焦离子束系统
1989年
FEI发布完整的FIB工作站
ElectronScan发布全球**台环境扫描电子显微镜(Environmental SEM)
1990年
飞利浦电子光学发布PC控制的扫描��子显微镜XL系列,成为扫描电镜数字化的先驱
1990年
飞利浦**台6“晶片样品台的扫描电镜发布
1993年
FEI和飞利浦电子光学联合发布“双束”(电子束+离子束)工作站
1995年
FEI交付第100台聚焦离子束(FIB)系统
1996年
FEI交付第5000只液态金属离子源
Micrion发布其8000系列聚焦离子束系统, 用于IC掩膜修复
1996年
飞利浦电子光学收购美国ElectronScan公司及其”环境扫描(ESEM)”技术
飞利浦电子光学收购位于捷克布尔诺的Delmi公司
1997年
FEI和飞利浦电子光学宣布合并其全球业务
交付**台晶片工厂的在线双束系统
1998年
FEI发布全数字化、全一体化的透射电子显微镜Tecnai
1999年
新的FEI购并美国Micrion公司
2000年
发布**台小样品台双束系统
2001年
交付**台安装有单色器的透射电镜
2002年
FEI收购Atomika (SIMS二次离子质谱仪)
2002年
FEI发布Quanta系列扫描电子显微镜
2003年
FEI发布科学研究和工业分析用“双束”(电子束+离子束)工作站Quanta 3D和Nova NanoLab
2003年
FEI收购Emispec (ESVision)
2004年
FEI使用安装有单色器和球差矫正器的200kV Tecnai场发射透射电子显微镜突破1埃分辨率极限
2005年
FEI发布全球**台超高分辨率低真空场发射扫描电子显微镜Nova NanoSEM
FEI发布专门用于图像矫正的透射电镜Titan 80-300, 分辨率达到0.7埃
FEI香港有限公司
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2009-08-07
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