(1) 类型： CCI 干涉（相干相关干涉） (2) 分辨率： 0.1 A (3) 测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 ) 更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。
•**的相干相关算法 •0.01nm分辨率 •10-20秒测量时间 •RMS重复性：0.03A
Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI（**技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。
1.Noncontact measurement for 3D surface profiling
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