德国菲希尔X射线荧光分析仪XDLM237和XDAL237SDD主要性能对比
菲希尔公司FISCHER品牌的x-ray镀层厚度检测及材料分析仪是业内的标杆产品，在全球有着广泛的客户和良好的声誉。FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM 237 X射线镀层厚度测试仪及材料分析仪采用手动或自动方式，测量和分析微小结构的印刷线路板、电气元件及大规模生产的零部件上的镀层。FISCHERSCOPE® X-RAY XDAL 237 SDD X射线镀层厚度测试仪及材料分析RoHs检测仪，配备可编程运行XY工作台及Z轴升降系统，全自动测量超薄镀层厚度和分析材料成分。两者主要电器参数对比如下表：
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机型 Model
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FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM 237
X射线镀层厚度测试仪及材料分析仪
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FISCHERSCOPE® X-RAY XDAL 237 SDD
X射线镀层厚度测试仪及材料分析RoHs检测仪
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备注 Remark
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测量元素范围 Element Range
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Cl（17）-U（92）
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Al（13）-U（92）
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XDAL237 SDD的测量元素范围更大，可以测P磷等元素
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分析软件 Software
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WinFTM(V6 LIGHT) 可*多同时测量4层镀层，5种元素，在选配BASIC时可测23层镀层，24种元素
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WinFTM(V6 BASIC) 可*多同时测量23层镀层，24种元素
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XDLM237的主要应用为镀层厚度的测量，XDAL237SDD不但在测厚方面更具优势，可测量纳米级镀层；并且可以做精-确的材料分析以及RoHs痕量分析。XDAL237 SDD 标配 Basic版软件
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X射线发生装置 X-Ray Tube
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W靶微聚焦射线管
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W靶微聚焦射线管
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高压 High voltage
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三种可调高压：30 kV，40
kV，50 kV
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三种可调高压：10 kV，30
kV，50 kV
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10kV的电压可用于测量能量更低的元素（例如：P磷等）
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准直器 Aperture (Collimator)
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4个可切换准直器（Ø0.1/Ø0.2/0.05x0.05/0.2x0.03mm）
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4个可切换准直器（Ø0.1/Ø0.3/Ø0.6/Ø0.5*0.15mm)
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XDAL237配备了更大的0.6mm准直器，使得测量大样品和RoHS的应用时，大大提高精度。
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测量点大小 Measurement spot size
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约 Ø 0.1 mm
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约 Ø 0.15 mm
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X射线接收器 X-ray detector
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比例接收器 FWHM≤900eV
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硅漂移SDD半导体探测器 FWHM≤160eV
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XDAL237 SDD配备*的SDD硅漂移接收器，有更高的能量分辨率。频谱上相邻元素之间干扰更小，精度更高。并且可进行痕量分析（可满足RoHS的应用）。
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滤波片 Primary filter
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3 种可切换滤片 (镍/铝/无）
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3 种可切换滤片 (镍/铝/无）
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放大倍数 Zoom factor
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40X-160X
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40X-160X
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样品台尺寸 Usable sample placement area
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300 × 350 mm
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300 × 350 mm
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移动方式 Travel Mode
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电动可编程
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电动可编程
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可移动范围 Maximum travel XY
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255*235mm
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255*235mm
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Z轴 Z-axis
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可编程运行 Programmable
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可编程运行 Programmable
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随机元素片 Pure Element
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12纯元素片：(Ag,Cu,Fe,Ni,Zn,Zr,Mo,Sn,W,Au,Pb,Cr) 12 Pure Element
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14纯元素片：(Ag,Cu,Fe,Ni,Zn,Zr,Mo,Sn,W,Au,Pb,Cr，Ti，S) 14 Pure Element
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以上德国菲希尔X射线荧光分析仪XDLM237和XDAL237SDD主要性能对比表中红色字体为差异体现。XDLM237机型虽然在性能上与XDAL237SDD有不及的地方，但因其相对低廉的价格和同样不俗的性能使得XDLM237成为菲希尔x射线材料厚度分析仪中的主流畅销机型。
其他检测仪器：超声高温耦合剂、铁素体含量检测仪。
