洁净厂房车间尘埃粒子检测对照表主要针对无尘车间多点测量,厂房面积和要求的洁净度对应着采样点数的分布如下:采样点应均匀分布与洁净室(区)的整个面积内,并位于工作区的高度(离地面0.8m)
面积
(m2)
洁净度
≥100级
1000级
10000级
100000级
<10
2~3
2
≥10~<20
4
3
≥20~<40
8
6
≥40~<100
16
13
≥100~<200
40
32
10
≥200~<400
80
63
20
≥400~<1000
160
126
≥1000~<2000
400
316
100
2000
800
633
200
苏公网安备 32050502000400号