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技术文章

从手机、电脑，到汽车、电器，再到医疗仪器、航空装备，我们生活中的很多事物都离不开先进的半导体技术，而产量和规模的不断增长，也让芯片制造工艺越来越精密。准确的泄漏检测技术，是确保半导体产品质量和提升生产效率的关键。

本文就将为您浅析英福康在半导体泄漏检测领域多样化的应用场景和产品方案。

应用广泛，全流程覆盖

1，保持真空

英福康精准的泄漏检测方案可确保对半导体工艺至关重要的真空条件的完整性。即使是极微小的泄漏，也可加以识别和修复，以确保独特的半导体特性。

2，保持洁净室条件

使用示踪气体进行泄漏检测，可有效防止颗粒和污染物的进入，维护半导体洁净室严格的洁净度标准。

3，定位复杂泄漏

英福康的泄漏检测技术，包括示踪气体的使用，可有效识别定位不同配置的复杂半导体设备中的各种泄漏。

4，捕捉微小泄漏，保持产品品质

精准、高灵敏度的泄漏检测方案可确保识别极微小的泄漏，以保持半导体制造工艺所需的纯度，防止缺陷和确保产品质量。

5，材料兼容性

英福康的泄漏检测方案与半导体材料兼容，可确保不会损坏或改变半导体制造中所用材料的性能。

6，快速检测泄漏，实现高产能

英福康提供的可靠泄漏检测系统能够以极快的速度获得可靠的结果，从而提高半导体制造的产能。快速识别和解决泄漏问题也是很大限度减少停机时间，确保生产效率的关键。

7，与自动化系统集成

英福康的泄漏检测方案可与自动化系统无缝集成，实现持续监控和即时泄漏响应，并有助于提高半导体自动化制造过程的整体设备效率 (OEE)。

8，经济高效的解决方案

英福康致力于开发经济高效的泄漏检测解决方案，在准确性和成本之间取得平衡。

产品多样，性能优越

英福康所提供的用于嗅探和真空检漏的检漏仪，被广泛应用在半导体芯片制造、太阳能电池生产线、平板显示器、玻璃和塑料箔镀膜以及一般真空系统中。

UL6000 Fab

UL6000 Fab 系列是 UL 移动式氦气检漏仪产品组合中的旗舰产品。其专为半导体工厂中的大型工具，以及太阳能电池制造、平板显示器和片到片或卷到卷（卷筒）涂层中使用的大型涂层工具而设计。该设备在所有测量范围内都能提供快速响应，测试时间极短，使泄漏检测更为准确、高效、简便。

此外，该设备的占地面积很小，可确保在对工具空间要求更严格的工厂环境中，获得很好的可操作性和足够的工作空间。

UL3000 Fab

UL3000 Fab 系列移动式氦气检漏仪，专为半导体工厂中大多数工具的检漏需求而设计。它具有灵活性、移动性、快速启动、高灵敏度、高准确性和高可靠性等特点。与 UL6000 Fab 一样，它的占地面积非常小，可帮助用户更有效地利用昂贵的洁净室空间。

UL1000 Fab

UL1000 Fab 系列移动式氦气检漏仪，是工业或半导体环境中经济型氦气真空检漏的标杆性产品，尤其适用于较小的真空室。该设备在高性能、坚固性和经济性之间实现了上佳平衡。

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