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产品简单介绍
LCM025电容膜片真空计
BPG552 ATM至超高真空双真空计
对于测量范围要求从 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的应用,Trigon™ 系列包括双技术 BPG552 真空计。BPG552 由一个 Bayard-Alpert 热电离传感器元件和一个经典、坚固、可靠的皮拉尼传感器元件组成。支持的 Bayard-Alpert 双丝提供了**的精度、可重复性和使用寿命。
BCG552 ATM至超高真空真空计
TripleGauge® BCG552 在一个传感器法兰中集成了 3 个真空传感元件。这款新型 TrigonTM 系列的旗舰产品具有极宽的测量范围,从 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1500 mbar)。由于增加了 ATM 传感器,BCG552 可用于压差测量,并在多个应用中用作真空开关。 支持的 Bayard-Alpert 双灯丝在 UHV 和 HV 范围内具有出色的精度、可重复性和使用寿命,而微型电容式隔膜真空计在 ATM 范围内具有出色的精度,并且不受气体类型的影响。
BAG552热电离真空计
对于需要独立热离子规技术的应用,Trigon™ 系列中包含了采用单一技术的 Bayard-Alpert 热电离规 BAG552。 BAG552 专为压力范围为 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的气体真空测量而设计。支持双灯丝,具有出色的精度、可重复性和使用寿命。BAG552 还可与 INFICON 真空计控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。
PBR260热电离真空计
IGG27000,IGG27001,IGG27002
PSG550系列皮拉尼标准真空计
355-925
INFICON 皮拉尼PSG55x标准真空计与其兄弟系列 PCG55x 及 PSG50x型真空计一样均采用当前非常先进的数字皮拉尼技术。其坚固耐用的传感器设计紧凑,融合了各种功能,是高低真空测量的上佳之选。
PCG550复合真空计
3PC1-001-0000
INFICON PCG550复合真空计是集INFICON皮拉尼技术和陶瓷电容式膜片传感器的优势于一体的宽量程真空计。在 10 毫巴和大气压力之间的测量范围内,电容式膜片技术不受气体类型限制,能够提供高精准度的压力测量值。因此使得PCG550复合真空计功能更加丰富,并提供了多种配置可供用户选择,可满足您的特定应用要求。
PEG100潘宁规,冷阴极电离真空计
351-000
PEG100潘宁规可提供可靠的高真空测量。 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现灯丝烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件,除了对数模拟输出信号外,允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议将真空计轻松集成到真空系统中。
MPG400冷阴极皮拉尼复合真空计
351-010
测量范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压(3.8 x 10-9 托至大气压)。将多项技术融合到到一个带有对数模拟输出信号的单个紧凑数装置中,极大降低了安装、设置和集成的复杂性。
B-A型BPG400皮拉尼和热电离子复合真空计
353-500
INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼(Pirani)BPG400型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑的装置中,测量范围从 5×10-10 毫巴至大气压(3.8×10-10 托至大气压)。 多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。 选择BPG400真空计,价格经济,且可重复测量基准压力。
英福康BCG450三合一真空计
353-550
INFICON贝阿德-阿尔珀特皮拉尼(Pirani)BCG450型电容膜片真空计将三大不同技术的优势融合在一个单个、紧凑和经济的可以测量 5×10-10 到 1500 毫巴(3.75×10-10 到 1125 托)的过程压力和基准压力的工具包里。 BCG450型电容式膜片真空计的设计旨在替代三个传感器(热离子、热量增强型皮拉尼和真空开关),从而节省成本和宝贵的工具空间。
HPG400高压强热电离皮拉尼真空计
INFICON高压热电离皮拉尼HPG400型真空计将高压热电离技术与皮拉尼传感器整合在一个单个紧凑经济的装置中,可测量 2×10-6 毫巴至大气压(1.5×10-6 托至大气压)范围内的压力。HPG400 型真空计为精准的溅射过程压力控制提供重复测量并再现测量数据。
TPR280/281皮拉尼真空计
CDG200D电容膜片真空计
CDG200D电容膜片真空计是实现精准总压测量与控制的理想之选。CDG200D电容膜片真空计温度控制在200℃,具有超卓的性能,适用于苛刻的半导体和等离子工艺。在1Torr至1000torr满量程范围内均可使用,带所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供0至10V不受气体类型限制的对数压力信号。CDG200D电容膜片真空计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有超强防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间更短和使用寿命更长等诸多优势。
英福康CDG025D电容薄膜规
CDG025D,CDG025D-X3
CDG025D 电容膜片真空计属于高精度温度补偿型真空计,在苛刻的生产环境中具有稳定的性能。 先进的数字电子设备提高真空计的性能和易于使用的特点,如一键调零功能和设定点调整。 抗腐蚀性的超纯陶瓷传感器具有超卓的零点稳定性和预计数百万次压强周期(包括大气冲击)的长使用寿命。
Cube CDGsci高精度参考电容膜片真空计
Cube是设计作为纯参考设备用于标准化真空测量系统,它是真空科研应用独一的选择.经过验证的INFICON温度控制的, 抗腐蚀超纯陶瓷传感器是Cube出色性能的核心.
CDG045D 电容膜片真空计
SKY CDG045D 压力计是实现高精准总压测量与控制的理想之选。CDG045D 真空计温度控制在 45 °C,具有超卓的信号稳定性和可重复性。
加热式100~200℃ 电容膜片真空计
CDG100D,CDG160D,CDG200D
SKY CDG100D压力计是实现精准总压测量与控制的理想之选。CDG100D真空计温度控制在100 °C,具有超卓的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。
高速加热式 45...200°C 电容膜片真空计
Stripe CDG045D
Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是非常快速、高度准确的真空仪器。响应时间不到 2 ms,配备 EtherCAT 现场总线接口,开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无可比拟的零位稳定性。赢得了 2014 研发 100 大奖!!高速加热式 45...200°C 电容膜片真空计,非常低量程0.01托
IM540真空计控制器
399-653
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